椭圆偏振光谱仪

型号：HORIBA UVISEL-ER

主要功能：

它是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。

主要技术指标：

光谱范围：190～2100nm；测试角范围：55～90度；最大样品测量尺寸：8英寸；用于测量薄膜的厚度(从1Å 到 30µm) 和光学常数(n,k)；样品台尺寸：200mm , XYZ方向自动调节，Z轴高度>35mm。

服务内容：

薄膜样品厚度、折射率、消光系数的测试。