聚焦离子束显微镜 (FIB)

型号： Helios 5 CX dualbeam

主要功能：

聚焦离子束 (FIB) 系统将 SEM 和 TEM 的小质量电子替换成大质量的离子，以实现对于样品表面的轰击粉碎，使其能产生微小的成分碎片或除去不需要的材料，我们的 FIB 适合一系列广泛的制程控制，失效分析以及材料研究应用。Thermo Scientific focus离子束（FIB）-Helios 5 CX dualbeam配备了高度自动化、多站点、最快和最简单的S/TEM样品制备。

主要技术指标：

在SEM模式下，低加速电压下的分辨率极高（1nm），15kV下的分辨率为0.6nm；在离子束模式下，30kV的分辨率为4nm。SEM的加速电压范围为100V-30kV；离子束的加速电压范围为500V-30kV；通过Avizo软件实现自动切片、视图和三维重建。

服务内容：

实现亚纳米分辨成像及微纳加工。