电子束光刻机JEOL6300FS
JEOL6300FS
主要功能：
JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束，简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。此外，该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度，性能比优越。
主要技术指标：
电子束能量100KV，最小精度8nm。
服务内容：
微纳图形加工
加工范例：
电子束光刻机JEOL6300FS
JEOL6300FS
主要功能：
JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束，简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。此外，该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度，性能比优越。
主要技术指标：
电子束能量100KV，最小精度8nm。
服务内容：
微纳图形加工
加工范例：